微光,光通訊
—— 光通信就是以光波為載波的通信。增加光路帶寬的方法有兩種:一是提高光纖的單信道傳輸速率;二是增加單光纖中傳輸的波長數,即波分復用技術(WDM)。
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中空 氣密構造
具有優良的機械剛性。熱膨脹系數與硅相近,因此與硅 MEMS 等器件的應力小。
陶瓷疊層技術有助實現小型化,高密度,表面封裝。
加速度傳感器
角速度傳感器(陀螺儀,橫擺角)
壓力傳感器
CMOS/CCD 圖像傳感器

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